计算全息检测技术的精度溯源研究现状分析(内封面文章)

作     者：李佳 程强 王孝坤 胡海翔 李龙响 李洪士 薛栋林 张学军 LI Jia;CHENG Qiang;WANG Xiaokun;HU Haixiang;LI Longxiang;LI Hongshi;XUE Donglin;ZHANG Xuejun

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 应用光学国家重点实验室吉林长春130033 光学系统先进制造重点实验室(中国科学院)吉林长春130033 

基　　金：国家重点研发计划项目(2022YFB3403404) 国家自然科学基金项目(62127901,12003034,62305334) 中国科学院青年创新促进会资助项目(2022213) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2024年第53卷第8期

页      码：140-154页

摘      要：随着光学系统性能的要求越来越高,非球面、自由曲面等复杂光学曲面能够提升系统的成像性能,因此提升复杂光学曲面的检测精度极为重要。干涉检测是测量复杂光学曲面的重要手段,其中计算全息检测法(Computer Generated Hologram,CGH)作为干涉检测中的一种,因其精度高和设计自由度大等优点得到了广泛的应用。但是在CGH检测复杂曲面的过程中存在的各类误差会影响波前检测的精度。文中首先介绍了计算全息法的检测精度现状,其次归纳总结了造成计算全息法误差的主要因素。分别介绍了不同误差的产生原理、影响效果、相对应标定补偿方法及适用情景和优缺点;并介绍了基于CGH占空比与线条位置误差的调研现状分析以及现有的研究方法;最后对计算全息法检测的精度溯源和精度提升研究趋势进行了展望。

主 题 词：计算全息图 复杂曲面检测 计算全息图精度溯源 误差分析 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/IRLA20240135

馆 藏 号：203138945...