微型化三轴FBG振动传感器的角振动测量研究

作     者：黎琪慧 陈亚新 辛璟焘 董明利 李昆 Li Qihui;Chen Yaxin;Xin Jingtao;Dong Mingli;Li Kun

作者机构：北京信息科技大学光电测试技术及仪器教育部重点实验室北京100192 北京信息科技大学光纤传感与系统北京实验室北京100016 北京空间机电研究所北京100089 广州南沙光子感知技术研究院广州511462 

基　　金：国家重点研发计划(2021YFA1003504)项目资助 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2024年第45卷第5期

页      码：43-50页

摘      要：针对微型三轴振动传感器研制,可用空间小且结构复杂和结构零件组合装配困难等问题,提出采用3个一体化模块交错组合的传感器设计方法,提高了空间利用率和装配精度。通过理论分析和有限元仿真,完成15 mm×15 mm×15 mm微型化传感器的优化设计,搭建显微镜成像封装系统和振动测试系统完成传感器的封装和性能测试。实验表明,该传感器X、Y、Z轴的谐振频率分别为990、975和960 Hz,且在0~700 Hz频率范围内平坦度好,灵敏度分别为19.10、19.28和20.01 pm/g,具有轻量化和三轴测试性能一致性高的优点。搭建微角振动测试系统,验证传感器的性能,其角位移测量分辨率优于0.21μrad,线性度为0.998。

主 题 词：光纤布拉格光栅 振动传感器 三轴 微型化 振动测量 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.19650/j.cnki.cjsi.J2311760

馆 藏 号：203138952...