非晶氮化硅分束－聚焦集成二元位相型光学元件

作     者：李志锋 黄信凡 高文琦 周进 顾晓峰 陈坤基 

作者机构：南京大学物理系 

基　　金：国家自然科学基金 

出 版 物：《南京大学学报（自然科学版）》 (Journal of Nanjing University（Natural Science）)

年 卷 期：1994年第30卷第3期

页      码：434-438页

摘      要：报道了自行设计的将二维Ｄａｍｍａｎｎ光栅和Ｆｒｅｓｎｅｌ波带板集成为一体的同时具有分束和聚焦功能的二元位相型光分束器，并用等离子体增强化学汽相淀积法（ＰＥＣＶＤ）制备的非晶氨化硅（ａ－ＳｉＮｘ：Ｈ）薄膜制作了这样的元件，成功地实现了设计的功能，分束阵列为３×３，焦距１８ｃｍ，分束后的光强分布相对误差小于５％．

主 题 词：非晶氮化硅 光分束器 分束 聚焦 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

馆 藏 号：203139269...