基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状

作     者：史海涛 欧毅 陈大鹏 张青川 伍小平 焦斌斌 李超波 罗小光 由春娟 SHI Hai-tao;OU Yi;CHEN DA-peng;ZHANG Qing-chuan;WU Xiao-ping;JIAO Bin-bin;LI Chao-bo;LUO Xiao-Guang;YOU Chun-juan

作者机构：中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室北京100029 中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室合肥230027 

基　　金：国家"863"计划资助项目(批准号:2005AA404210) 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2007年第36卷第1期

页      码：6-9页

摘      要：非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注。一种基于MEMS双材料梁阵列的新概念光学读出红外成像系统也于今年来被提出来。介绍了这种系统成像原理,影响参数及其研究现状,最后展望了其发展前景。

主 题 词：非制冷红外成像 MEMS 双材料微悬臂梁阵列 光学读出 

学科分类：0711[理学-心理学类] 07[理学] 08[工学] 081104[081104] 0811[工学-水利类] 071102[071102] 081103[081103] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2007.01.002

馆 藏 号：203139331...