上海光源TSP&NEG复合电源的研制

作     者：安双利 蒋迪奎 蒋罗荣 金建初 AN Shuang-li;JIANG Di-kui;JIANG Luo-rong;JIN Jian-chu

作者机构：中国科学院上海应用物理研究所 上海三井真空设备有限公司上海201708 苏州凯特电子有限公司江苏苏州215008 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2007年第44卷第4期

页      码：72-74页

摘      要：上海第三代同步辐射光源(SSRF)的动态真空要求为1.3×10-7Pa,要获得这样的超高真空环境,真空系统配置了多台钛升华泵(TSP)和非蒸散型吸气剂(NEG)组件,针对这两种设备的工作参数,研制了一种带有计算机通信接口的复合电源,并在LabVIEW环境下开发了一套相应的控制软件,实现了对TSP和NEG的本地和远程控制。经过测试,该控制器和控制软件均已达到了设计指标,可以正式投入到上海光源项目上使用。

主 题 词：超高真空 钛升华泵 非蒸散型吸气剂 复合电源 LabVIEW 

学科分类：0810[工学-土木类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0835[0835] 081002[081002] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-0322.2007.04.019

馆 藏 号：203139345...