长距离同轴度测量方法及实验

作     者：成相印 方仲彦 殷纯永 郭继华 

作者机构：清华大学 

基　　金：国家自然科学基金 

出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)

年 卷 期：1997年第18卷第2期

页      码：85-89页

摘      要：本文介绍了一种新型的自适应双频激光同轴度测量系统，该系统利用两个完全对称的渥拉斯顿棱镜，一个作为测量元件，另一个作为补偿元件。采用比相技术处理测量信号，因而测量元件可以暂时移出光路，能够进行同轴度的测量。系统的光学设计使激光光束的平漂和角漂不影响测量结果，对激光的漂移有自适应性。两束干涉光基本符合共光路原则，因而对大气湍流、空气扰动的影响具有更强的适应性，可用于长距离直线度、同轴度的测量。该系统与ＨＰ５５２８双频激光干涉仪在２７ｍ的长导轨上进行了测量直线度的比对实验及挡光实验。比对实验结果表明，该系统在测量精度及稳定性上不低于ＨＰ５５２８。挡光实验表明，该系统挡光后，数据能够自动恢复，可用于同轴度的测量。

主 题 词：直线度测量 同轴度测量 自适应 双频激干涉仪 

学科分类：08[工学] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

馆 藏 号：203139355...