一种微型隧道效应磁强计的设计

作     者：朱俊华 丁衡高 叶雄英 

作者机构：清华大学精密仪器系北京市100084 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2000年第8期

页      码：16-17,34页

摘      要：隧道效应传感器是一种灵敏度很高的位移传感器 ,其原理已经被用于微加速度计和红外传感器的设计。文中介绍了基于这一原理的微型磁强计 ,对传感器的固有频率和驱动电压进行了分析和计算。

主 题 词：MEMS 隧道效应磁强计 设计 

学科分类：080802[080802] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2000.08.007

馆 藏 号：203139573...