基于MEMS技术的双凸台微型热电能量采集器的仿真和制备

作     者：吴利青 徐德辉 熊斌 WU Liqing;XU Dehui;XIONG Bin

作者机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室上海200233 

基　　金：国家自然科学基金项目(51306200) 国家863计划项目(2013AA041109) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2016年第29卷第3期

页      码：305-312页

摘      要：基于KOH腐蚀工艺设计并制作了具有双凸台结构的微型热电能量采集器,运用有限元法仿真器件在一定温差下的温度分布;并对器件建立了数学模型,分析凸台结构的几何参数等对器件输出性能的影响。仿真结果表明:随着顶部凸台高度的增加,温差的有效利用率逐渐升高;随着顶部凸台边长的增加,有效温差利用率逐渐降低;随着热冷端热阻的减小,器件的有效利用温差、开路电压、回路电流、输出功率都逐渐升高。从工艺上证明,基于MEMS技术的双凸台结构的微型热电能量采集器是可以加工和制备的。

主 题 词：MEMS 温差发电 KOH腐蚀 能量采集 塞贝克效应 有限元分析 数学建模 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2016.03.001

馆 藏 号：203139734...