引信中应用的加速度传感器的研制

作     者：刘晓明 

作者机构：电子科技大学机械电子工程学院成都610054 

出 版 物：《电子科技大学学报》 (Journal of University of Electronic Science and Technology of China)

年 卷 期：2003年第32卷第2期

页      码：207-211页

摘      要：讨论了应用于引信中的高g微阵列式加速度传感器的设计理论、布阵方法和微加工工艺。讨论过程中,针对测量不同的加速度值,利用了不同的设计方法和加工工艺及二维传感阵列的布阵设计上的特点,将微加工中三维加工工艺与平面加工工艺相结合,利用体加工技术和高深宽比刻蚀技术,研制出了微阵列加速度传感器的样品。经测试表明符合使用要求,其结果为实用化奠定了基础。

主 题 词：微传感器 阵列式 加速度 微加工技术 引信 

学科分类：082601[082601] 08[工学] 0826[工学-生物医学工程类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-0548.2003.02.023

馆 藏 号：203140155...