高纯磷烷的规模化生产

作     者：孙福楠 岳成君 李健 吴江红 SUN Fu-nan;YUE Cheng-jun;LI Jian;WU Jiang-hong

作者机构：光明化工研究设计院辽宁大连116031 

基　　金：国家资金支持研究项目 

出 版 物：《低温与特气》 (Low Temperature and Specialty Gases)

年 卷 期：2006年第24卷第1期

页      码：27-29页

摘      要：对磷烷的合成、净化等方法进行了详细的介绍,指出随着IC制造业的发展,传统的磷烷净化工艺已成为历史,新的净化方法在原理上同以往的工艺有着本质的区别。吸附—低温精馏—超纯终端净化联合工艺是当今磷烷生产的发展方向,指出了我国未来几年电子气体净化需要克服的技术“瓶颈”。

主 题 词：磷烷 合成 吸附 低温精馏 超纯净化 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-7804.2006.01.008

馆 藏 号：203140210...