分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析

作     者：刘彦 陈海清 余洪斌 吴鹏 向晓燕 杨国元 LIU Yan;CHEN Hai-qing;YU Hong-bin;WU Peng;XIANG Xiao-yan;YANG Guo-yuan

作者机构：华中科技大学光电子工程系武汉430074 

基　　金：国家自然科学基金委-中国工程物理研究院联合基金资助课题 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2006年第18卷第1期

页      码：15-20页

摘      要：针对基于MEMS技术制造的连续面型薄膜微变形反射镜，从薄膜理论出发对其力电耦合变形特性进行理论分析，导出了镜面变形表达式。利用该式及响应频率表达式，定量分析了镜面相关尺寸参数对变形量的关系，为变形镜的结构设计提供了可靠的理论依据。结果表明，当镜面厚度为1μm且与驱动电极间距20μm时，对控制电压不超过120V，响应频率大于50kHz的应用场合，变形镜镜面半径应在2．1～13．8mm之间进行选择。仿真结果显示，驱动电压较小时，镜面变形与驱动电压平方近似成线性关系。

主 题 词：微变形反射镜 力电耦合 自适应光学 静电驱动 镜面变形 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

馆 藏 号：203140263...