海绵卷绕真空磁控溅射镀膜过程中的传动控制

作     者：孙清 魏海波 池世春 栾居里 SUN Qing;WEI Hai-bo;CHI Shi-chun;LUAN Ju-li

作者机构：沈阳药科大学高等职业技术学院辽宁沈阳110026 沈阳新北方玻璃有限公司辽宁沈阳110136 中科院沈阳自动化研究所现代装备研究设计中心辽宁沈阳110016 沈阳职业技术学院辽宁沈阳110045 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2006年第43卷第5期

页      码：53-55页

摘      要：根据磁控溅射中海绵的传动特性,建立了传动控制的数学模型,采用带有矢量的变频调速器实现了海绵卷绕真空镀膜过程中的张力控制,满足了磁控溅射中海绵卷绕的传动要求。

主 题 词：变频调速 张力控制 矢量控制 海绵卷绕系统 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-0322.2006.05.015

馆 藏 号：203140854...