φ300mm干涉仪参考镜的设计及测试

作     者：武旭华 陈磊 王磊 WU Xu-hua;CHEN Lei;WANG Lei

作者机构：南京理工大学电光学院江苏南京210094 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所江苏南京210042 

基　　金：江苏省"六大人才高峰"资助项目(No.06-E-030) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2007年第15卷第8期

页      码：1235-1240页

摘      要：针对一台有效口径为300 mm的斐索立式移相干涉仪的参考镜,采用有限元方法对其水平状态不同支承方式下的表面变形进行了分析及优化设计,根据设计结果在对镜坯抛光时留出变形余量,并用液面基准法进一步验证了分析结果,其PV的差值为0.008λ,RMS的差值为0.005λ。实验结果表明,此干涉仪参考镜支撑结构的设计满足技术要求。

主 题 词：应用光学 大口径干涉仪 参考镜 镜面支承 有限元法 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-924x.2007.08.014

馆 藏 号：203140879...