ZrO_2/SiO_2溶胶-凝胶薄膜膜层间的渗透行为

作     者：王毕艺 祖小涛 赵松楠 郭袁俊 李绪平 徐世珍 吕海兵 蒋晓东 袁晓东 郑万国 WANG Bi-yi;ZU Xiao-tao;ZHAO Song-nan;GUO Yuan-jun;LI Xu-ping;XU Shi-zhen;L(U) Hai-bing;JIANG Xiao-dong;YUAN Xiao-dong;ZHENG Wan-guo

作者机构：电子科技大学物理电子学院成都610054 中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621900 

基　　金：国家863计划项目资助课题 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2007年第19卷第9期

页      码：1497-1500页

摘      要：分别以丙醇锆和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了性能稳定的ZrO2和SiO2溶胶。用旋转镀膜法在K9玻璃上分别制备了单层SiO2薄膜、单层ZrO2薄膜、ZrO2/SiO2双层膜和SiO2/ZrO2双层膜。采用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌,用椭偏仪测量薄膜的厚度与折射率,用紫外-可见光分光光度计测量了薄膜的透射率。对薄膜的透射光谱和椭偏仪模拟的数据进行分析,发现SiO2/ZrO2双层膜之间的渗透十分明显,而ZrO2/SiO2双层膜之间几乎不发生渗透。利用TFCalc模系设计软件,采用三层膜模型对薄膜的透射率进行模拟,得出的透射曲线与用紫外-可见光分光光度计测量的透射曲线十分符合。

主 题 词：椭偏仪 模系设计 溶胶-凝胶 渗透 透射率 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

馆 藏 号：203140883...