减少阴极弧金属等离子体源液滴的技术措施

作     者：汤旭东 王小峰 龙振湖 

作者机构：哈尔滨燃气化工总公司黑龙江哈尔滨150076 哈尔滨工业大学黑龙江哈尔滨150001 大连理工大学辽宁大连116024 

出 版 物：《机械工程师》 (Mechanical Engineer)

年 卷 期：2003年第6期

页      码：39-41页

摘      要：液滴的存在并伴随着金属等离子体输运是阴极弧金属等离子体源的主要特性之一,液滴问题的严重性常常影响着阴极弧金属等离子体源广泛应用的可能性。文中针对如何减少液滴,提出了在阴极弧金属等离子体源物理和结构设计上采取的适当技术措施;然后在金属等离子体输运过程中,用正偏压的45°弯管(短磁导管)进行电磁过渡,使液滴减少到最少,使离子得到高效传输,最大限度地减少了液滴对被沉积薄膜性能的影响。

主 题 词：阴极弧金属等离子体源 液滴(宏观粒子) 电磁过滤 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-2333.2003.06.016

馆 藏 号：203140980...