基于实验室光源的透射X射线纳米分辨显微镜研制

作     者：廖可梁 何其利 宋杨 李荣刚 宋茂华 李盼云 赵海峰 刘鹏 朱佩平 Liao Ke-Liang;He Qi-Li;Song Yang;Li Rong-Gang;Song Mao-Hua;Li Pan-Yun;Zhao Hai-Feng;Liu Peng;Zhu Pei-Ping

作者机构：济南汉江光电科技有限公司济南市X射线光学重点实验室济南250000 中国科学院高能物理研究所北京同步辐射装置北京100049 

基　　金：山东省科技型中小企业创新能力提升工程(批准号:2023TSGC0093) 山东省企业技术创新项目(批准号:202350100372) 济南市海右人才工程(2022年度)资助的课题 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2024年第73卷第17期

页      码：66-74页

摘      要：透射X射线显微镜(transmission X-ray microscope,TXM)是高精密度的尖端X射线成像设备,是现代科学技术的结晶,可以在纳米尺度上进行无损成像,为物理学、生命科学、材料学和化学等领域的众多科学问题提供了有力的研究工具.虽然国内外很多同步辐射装置都建立了以TXM为核心的纳米CT实验站,但是目前国际上只有个别企业能提供商业化的实验室TXM.究其原因,主要是该仪器涉及众多高难度的工程技术问题,诸如:高亮度实验室X射线源、高分辨率X射线光学元器件、高精度样品台、高灵敏度探测器、仪器对温度和振动等环境因素的超高要求等.为了提高研发高端X射线成像仪器的水平,需要逐个突破在研发X射线纳米CT过程中遇到的技术瓶颈.本文主要讨论了工作能量为5.4 keV的实验室TXM的仪器设计,以及全场成像实验结果.该仪器工作在吸收衬度模式下,成像视野达到了26μm,可以对30 nm线宽的特征结构实现清晰的成像,西门子星测试卡的功率谱曲线表明该仪器具有分辨半周期为28.6 nm线对结构的潜力.

主 题 词：X 射线成像 X 射线显微镜 科学仪器 

学科分类：0401[教育学-教育学类] 04[教育学] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.73.20240727

馆 藏 号：203141172...