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静电力反馈微加速度计的模拟控制器优化

静电力反馈微加速度计的模拟控制器优化

作     者:万蔡辛 董景新 刘云峰 胡淏 

作者机构:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 

基  金:国家“十一五”科技预研项目(51309050208) 

出 版 物:《清华大学学报(自然科学版)》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期:2009年第49卷第11期

页      码:1779-1782页

摘      要:静电力反馈微加速度计在突然受较大加速度冲击后出现振荡失效,严重影响工作可靠性。为查明失效原因、优化设计以保证全工作范围内稳定性,研究了系统动特性随外界加速度的变化。将静电刚度引入以分析失效原因,并根据分析结果提出模拟控制器的改进方案。SIMULINK对比仿真的结果和电测法对比实验的结果确认了对失效原因的判断,验证了改进方案的可行性。工程实际中,该文提出的分析与优化方法可以指导此类加速度计的可靠性设计,通过选择合理的控制器网络形式和参数,避免加速度计受冲击后振荡失效。

主 题 词:微加速度计 非线性系统 静电力 控制器 

学科分类:0810[工学-土木类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0701[理学-数学类] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录:

D O I:10.16511/j.cnki.qhdxxb.2009.11.010

馆 藏 号:203141487...

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