热柱复合毛细芯的成形工艺及其优化

作     者：陶素连 汤勇 Tao Su-lian;Tang Yong

作者机构：华南理工大学机械与汽车工程学院∥表面功能结构先进制造广东普通高校重点实验室广东广州510640 广东水利电力职业技术学院机械系广东广州510635 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50930005) NSFC-广东省人民政府自然科学联合基金重点资助项目(U0834002) 

出 版 物：《华南理工大学学报（自然科学版）》 (Journal of South China University of Technology(Natural Science Edition))

年 卷 期：2011年第39卷第6期

页      码：29-35页

摘      要：针对当前微电子芯片的高热流密度问题,设计了一种具有复合毛细芯结构的热柱.其成形工艺为利用犁切-挤压的方法加工热柱蒸发端和冷凝端表面的交错微沟槽,然后在微沟槽表面烧结一层铜纤维.文中通过综合分析热柱毛细芯的成形过程,研究犁切-挤压参数对热柱蒸发端微沟槽成形的影响,以及烧结参数对烧结层的影响.结果表明:在热柱毛细芯微沟槽的成形过程中,犁切-挤压深度和沟槽间距共同决定了微沟槽的形貌;犁切-挤压深度越大,微沟槽表面形貌越好;沟槽间距只有在一定范围内时才能形成较好的表面形貌;当径向自动进给量为0.45mm/r、径向微沟槽夹角为3°、螺旋状与径向犁切-挤压深度均为0.3mm时,可获得最优的蒸发沸腾微沟槽结构;当螺旋状犁切-挤压深度为0.3mm、自动进给量为0.50mm/r、轴向微沟槽间距为(1/180)rad时,可获得最优的冷凝强化微沟槽结构;当烧结温度为950℃、烧结时间为60m in、升温速率为5℃/s时,烧结层的烧结性能最优,和管壁结合的能力最强.

主 题 词：热柱 成形工艺 微沟槽 毛细芯 烧结 铜纤维 

学科分类：080903[080903] 0810[工学-土木类] 080503[080503] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0802[工学-机械学] 0812[工学-测绘类] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-565x.2011.06.006

馆 藏 号：203141715...