飞秒激光用多层介质膜脉宽压缩光栅的设计

作     者：孔伟金 刘世杰 沈健 沈自才 邵建达 范正修 Kong Wei-Jin;Liu Shi-Jie;Shen Jian;Shen Zi-Cai;Shao Jian-Da;Fan Zheng-Xiu

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所 

基　　金：国家自然科学基金(批准号:10376040)资助的课题.~~ 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2006年第55卷第3期

页      码：1143-1147页

摘      要：以薄膜光学的干涉理论和衍射光学的傅里叶模式理论为基础,给出了0·8μm飞秒激光器用多层介质膜脉宽压缩光栅的理论设计;设计采用H3L(HL)^9H0·5L2·4H的多层介质膜为基底,当刻蚀后表面浮雕结构的占宽比为0·35,线密度为1480线/mm,槽深为0·2μm,顶层HfO2的剩余厚度为0·15μm时,对于Littrow角度(36·7°)和TE波模式入射的衍射光栅其-1级衍射效率达到95%以上.

主 题 词：飞秒激光 脉宽压缩光栅 多层介质膜 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0805[工学-能源动力学] 0704[理学-天文学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.55.1143

馆 藏 号：203141849...