大气环境下多晶硅薄膜的疲劳性能

作     者：吴昊 孟永钢 苏才钧 郭占社 温诗铸 WU Hao;MENG YongGang;SU CaiJun;GUO ZhanShe;WEN ShiZhu

作者机构：清华大学摩擦学国家重点实验室北京100084 

基　　金：国家自然科学基金项目(50525515) 中国基础研究项目(2003CB716205) 清华大学基础研究基金项目(Jc2003013)资助~~ 

出 版 物：《机械强度》 (Journal of Mechanical Strength)

年 卷 期：2007年第29卷第6期

页      码：919-922页

摘      要：为评估多晶硅薄膜材料的加载可靠性,发展一种新型多晶硅薄膜疲劳性能测试实验系统,利用片外测试方法研究多晶硅薄膜在大气环境下的拉伸疲劳特性。实验试件采用MEMS(micro-electro-mechanical systems)工艺制造,具有相同的长度、厚度和不同的宽度。每个加载条件下重复10次实验,应用Weibull方法对疲劳实验数据进行处理,得到0.35GPa～0.70GPa应力幅值范围内5个应力水平下多晶硅薄膜拉伸疲劳的S—N曲线。研究表明,多晶硅薄膜的疲劳寿命随着交变载荷幅值的减小而增大,二者呈对数线性关系。该结果可以直接用于多晶硅薄膜材料MEMS器件的可靠性设计。

主 题 词：微机电系统 多晶硅 薄膜 疲劳 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0802[工学-机械学] 0701[理学-数学类] 0801[工学-力学类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1001-9669.2007.06.011

馆 藏 号：203142421...