电磁驱动推拉式射频MEMS开关的设计与制作

作     者：惠瑜 高超群 王磊 景玉鹏 陈大鹏 Hui Yu;Gao Chaoqun;Wang Lei;Jing Yupeng;Chen Dapeng

作者机构：中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心北京100029 

基　　金：中国科学院知识创新工程项目(06SF021002) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2010年第47卷第6期

页      码：362-366页

摘      要：提出了一种新型电磁驱动推拉式射频MEMS开关。针对传统静电驱动单臂梁开关所需驱动电压大、恢复力不足等问题,设计了一种推拉式开关结构,降低了驱动电压(电流),提高了开关的隔离度,同时实现了单刀双掷的功能。单晶Si梁由于自身无应力,解决了悬臂梁残余应力引起的梁变形问题。通过理论计算和有限元分析,优化了开关设计尺寸,在外围永磁铁磁感应梯度dB/dz=100T/m,在线圈通入100mA电流的驱动下,单晶Si扭转梁末端可以获得约10μm的弯曲量,满足开关驱动要求。给出了开关的详细微细加工流程,对开关的传输参数进行了测试,在10GHz时隔离度为-40dB.

主 题 词：射频MEMS开关 MEMS 电磁驱动 推拉式 单晶硅梁 隔离度 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2010.06.008

馆 藏 号：203142524...