利用子孔径拼接法测量大口径凸面反射镜

作     者：王孝坤 WANG Xiao-kun

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室吉林长春130033 

基　　金：863基金资助项目(O8663NJ090) 国家自然科学基金重点项目(61036015) 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2013年第34卷第1期

页      码：95-100页

摘      要：在简要分析各种检测大口径凸球面方法优缺点的基础上,提出了利用子孔径测量凸面反射镜的新方法,利用干涉仪标准球面波前依次干涉测定大口径镜面上各个区域的相位分布,通过子孔径拼接算法即可求解得到镜面全口径面形信息。对该方法的基本原理和实现步骤进行了分析和研究,建立了大口径拼接检测算法数学模型,设计并研制了大口径反射镜拼接检验装置。结合实例对加工过程中的口径为300mm的碳化硅凸面反射镜进行了9个子孔径的拼接干涉测量,并将检测结果与全口径面形测量结果进行对比,两种方法残差的PV值和RMS值分别为0.102λ和0.009λ(λ=632.8nm)。

主 题 词：光学检测 大口径反射镜 子孔径拼接干涉 凸面反射镜 面形误差 

学科分类：080901[080901] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.5768/jao201334.0103001

馆 藏 号：203142655...