基于模糊控制的PECVD沉积薄膜基片温控系统设计

作     者：陈长琦 游锦山 汪根生 朱武 

作者机构：合肥工业大学机械与汽车工程学院合肥230009 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2014年第34卷第4期

页      码：403-407页

摘      要：研究了等离子体增强化学气相沉积镀膜生产线控制系统的特性,提出以西门子可编程控制器为控制核心,利用Matlab/Simulink设计模糊控制器并进行系统仿真,完成基于模糊控制算法的基片温控系统设计。实现了基片温控回路的模糊控制,有效地缩短了调节时间,减小了超调量,提高了基片温度的控制精度及系统的运行稳定性。

主 题 词：等离子体增强化学气相沉积 可编程控制器 模糊控制 温度控制 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-7126.2014.04.18

馆 藏 号：203142702...