恒组分提拉单晶炉的设计与研究

作     者：何晔 武欢 王旭光 母江东 邓力 宋晓佳 HE Ye;WU Huan;WANG Xuguang;MU Jiangdong;DENG Li;SONG Xiaojia

作者机构：中国电子科技集团公司第二十六研究所重庆400060 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2016年第38卷第2期

页      码：186-188页

摘      要：晶体生长过程中由于溶质"分凝现象"的存在,会造成生长出来的晶体沿轴向不均匀分布,从而制约了大尺寸、超长、高均匀性晶体的生长。因此,该文设计了晶体自动生长控制系统和料棒自动补充控制系统,以保证晶体生长液面的高度不变,以及棒料添加组分与晶体组分一致,从而克服晶体生长过程中"分凝现象"的影响,也为晶体生长界面形状的稳定性控制奠定了可靠的基础。

主 题 词：恒组分 晶体生长 分凝 自动控制 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2016.02.002

馆 藏 号：203142797...