ZnO薄膜硅微压电矢量水听器

作     者：李俊红 魏建辉 马军 任伟 刘梦伟 汪承灏 LI Junhong;WEI Jianhui;MA Jun;REN Wei;LIU Mengwei;WANG Chenghao

作者机构：中国科学院声学研究所声学微机电系统实验室北京100190 中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室北京100190 

基　　金：国家自然科学基金(11074274 11174319 11474304)资助 

出 版 物：《声学学报》 (Acta Acustica)

年 卷 期：2016年第41卷第3期

页      码：273-280页

摘      要：提出了一种基于ZnO压电薄膜的硅微压电矢量水听器,其核心部件是利用微电子机械系统(MEMS)技术制作的悬臂梁结构压电加速度计。由近似解析和有限元分析,得出加速度计的灵敏度和谐振频率,并在此基础上对其进行了优化设计。研制了MEMS压电加速度计,并装配后构成MEMS矢量水听器。测试结果表明:加速度灵敏度在20~1,200 Hz范围内约为0.83 mV/(m/s^2)。经过液柱法测量,在1 kHz时,MEMS矢量水听器等效声压灵敏度为-229.5 dB(ref.1V/μPa),比同类型压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度高17 dB以上。

主 题 词：矢量水听器 ZnO 压电加速度计 微压 压电薄膜 加速度灵敏度 近似解析 微电子机械系统 压阻式 标准加速度计 

学科分类：082403[082403] 08[工学] 0824[工学-林业工程类] 

核心收录：

D　O　I：10.15949/j.cnki.0371-0025.2016.03.001

馆 藏 号：203142797...