新型激光光学表面轮廓仪

作     者：徐文东 

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所201800 

出 版 物：《量子电子学报》 (Chinese Journal of Quantum Electronics)

年 卷 期：1992年第13卷第1期

页      码：52-53页

摘      要：在光学表面粗糙度测量中,激光光学表面轮廓仪以其非接触测量,无需对作品表面进行镀膜处理,不受光学表面高度分布的限制,且高速和高精度,因而受到国内外光学测试专家的重视。 各种类型和性能的激光光学表面轮廓仪的出现,标志着这一领域内所取得的成就。本文将介绍的是一种新型激光光学表面轮廓仪,它吸收了近几年来国内外对各种粗糙度测试仪研究的成果,应用多项技术和特殊设计使仪器可在普通的环境下正常运行。

主 题 词：表面轮廓仪 激光光学 粗糙度测试仪 光学表面 非接触测量 粗糙度测量 位相差 横向分辨率 光学测试 光调制器 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

馆 藏 号：203142807...