微机电系统CAD的研究分析

作     者：李小兵 刘莹 

作者机构：南昌大学机电工程学院3300298 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(编号:50275071) 

出 版 物：《机械制造》 (Machinery)

年 卷 期：2003年第41卷第9期

页      码：7-10页

摘      要：概述了微机电系统CAD的研究进展,重点介绍了国外在该领域的研究工作。针对其与传统机电系统的不同,总结了微机电系统CAD的技术特点,并据此提出了微机电系统的设计原则,还介绍了微机电系统CAD的系统模型、常用的软件设计方法以及目前存在的几个问题。

主 题 词：微机电系统 CAD 系统模型 软件设计 MEMS 

学科分类：1305[艺术学-设计学类] 13[艺术学] 08[工学] 080203[080203] 081304[081304] 0802[工学-机械学] 0813[工学-化工与制药类] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-4998.2003.09.002

馆 藏 号：203143281...