基于十字中心定位算法的MEMS真空封装光学检漏方法

作     者：张浩威 侯虎旺 赵旸 张鹏 ZHANG Haowei;HOU Huwang;ZHAO Yang;ZHANG Peng

作者机构：中国科学院材料力学行为和设计重点实验室安徽合肥230026 中国科学技术大学精密科学仪器安徽普通高校重点实验室安徽合肥230026 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系安徽合肥230026 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(12172348) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2024年第43卷第10期

页      码：146-149页

摘      要：典型的光学检漏方法需要对整幅干涉图甚至多幅干涉图进行图像处理,过程相对复杂。本文结合MEMS器件封装结构的对称特性以及变形分布特征,提出了一种简单、快捷的十字中心定位算法。通过确定干涉图案中心点坐标,获取中心线光强分布,进而拟合得到样品中心线形貌。进一步利用封装结构中心点随真空度变化的相对位移,计算得到漏气率。本文以圆形封装结构为例,证明了该方法的可行性。

主 题 词：真空封装 激光干涉 光学检漏 十字中心定位法 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2024)10-0146-04

馆 藏 号：203143393...