等离子振动反应室的研究

作     者：赵亮 尹盛 王敬义 赵伯芳 

作者机构：华中科技大学电子科学与技术系湖北武汉430074 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10475029) 

出 版 物：《功能材料》 (Journal of Functional Materials)

年 卷 期：2007年第38卷第A10期

页      码：4025-4027页

摘      要：通过对振动阴极反应室的研究，针对粉粒与金属阴极接触的问题，提出新的改进设计。采用射频电源感应线圈，振动石英管内部放电的方式进行刻蚀。既有振动阴极反应室的效果，又避免掺入杂质，是一种可行的新反应室设计。

主 题 词：硅粉提纯 振动阴极 射频感应 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

馆 藏 号：203143955...