高速CMOS八位总线驱动器(L82C82/83)的工艺研究

作     者：郭玉璞 Guo Yupu (Northeast Microelectronics Institute,Mnistry of Electronics Industry,Shenyang 110032)

作者机构：电子工业部东北微电子研究所沈阳110032 

出 版 物：《微处理机》 (Microprocessors)

年 卷 期：1997年第18卷第4期

页      码：12-15页

摘      要：介绍了2／2.5μm硅栅CMOS高速八位总线驱动器（L82C82／83）的工艺技术，特别是工艺设计和工艺控制；讨论了关键工艺的控制条件、方法及试验结果。

主 题 词：CMOS 集成电路 总线驱动器 工艺 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 081201[081201] 0812[工学-测绘类] 

馆 藏 号：203143980...