大光栅刻划机工作台的摆角矫正机构研制

作     者：杨超 于海利 糜小涛 巴音贺希格 唐玉国 Yang Chao;Yu Haili;Mi Xiaotao;Bayanheshig;Tang Yuguo

作者机构：中科院长春光学精密机械与物理研究所长春130033 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家重点基础研究发展计划(973)项目(2014CB049500) 国家重大科研装备研制项目(ZDY2008-1) 科技部国家重点基础研究发展计划(2014CB049500) 长春市场科技计划(Y3B43HU140)资助项目 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2014年第35卷第5期

页      码：1065-1071页

摘      要：大光栅刻划机若存在摆角误差,将直接影响刻划光栅的波前质量。首先,计算得到李特洛设置下的摆角误差与波前质量的映射关系。其次,论述了双压电触动器校正摆角的工作原理,并设计了摆角测量光路,测量在该结构下工作台的摆角校正能力。最后基于以上结构对工作台进行刻划实验。结果表明在具有400×500光栅刻划能力的刻划机上,采用双压电触动器校正工作台摆角误差,能够满足±5μm行程范围内±2″校正范围的要求;实验表明摆角误差校正后工作台的偏转角度由0.42″降低至0.02″,校正后的摆角误差相比于校正前降低了95.24%,满足对工作台摆角校正精度的要求,提高了光栅的波前质量。以上实验结果为刻划出高精度大面积光栅提供了基础保障。

主 题 词：光栅刻划机 刻划光栅 摆角误差 压电触动器 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0804[工学-材料学] 0703[理学-化学类] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.19650/j.cnki.cjsi.2014.05.015

馆 藏 号：203144239...