SIW交指带通滤波器的设计与仿真

作     者：翟琼华 欧毅 薛晨阳 李志刚 欧文 ZHAI Qionghua;OU Yi;XUE Chenyang;LI Zhigang;OU Wen

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心北京100029 

基　　金：基于两种非线性理论的新型MEMS振动能量收集芯片研究项目(61274119) 应用于太赫兹成像的左手材料焦平面阵列研究项目(61306141) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2015年第28卷第9期

页      码：1379-1383页

摘      要：介绍了一种双层SIW带通滤波器,两层之间采用交指结构实现谐振,输入输出采用共面波导形式。所设计的毫米波滤波器芯片尺寸仅有7 mm×3.5 mm×0.8 mm,使用三维高频电磁仿真软件对该结构进行仿真和优化,结果表明滤波性能符合设计要求:中心频率10.6 GHz、带宽2.5 GHz、带内插损2 d B。最后阐明了基于MEMS技术的该滤波器的工艺制作流程。

主 题 词：带通滤波器 基片集成波导 交指型 抽头式 MEMS 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2015.09.019

馆 藏 号：203144310...