用于VOCs气体探测的制冷型红外探测器

作     者：段煜 毛剑宏 熊雄 胡明灯 DUAN Yu;MAO Jianhong;XIONG Xiong;HU Mingdeng

作者机构：浙江珏芯微电子有限公司浙江丽水323000 

出 版 物：《红外技术》 (Infrared Technology)

年 卷 期：2024年第46卷第10期

页      码：1178-1185页

摘      要：随着红外技术的发展,制冷红外探测器在气体探测领域发挥出重要作用。介绍了国内外关于制冷红外气体探测器的研究情况,并详细阐述了近期浙江珏芯微电子有限公司在挥发性有机物(volatile organic compounds,VOCs)气体探测器方向上的研究进展。通过窄带低温滤光片设计、杂散辐射抑制及探测器组件工艺等方面的关键技术研究,实现了制冷红外气体探测器的制备,在此基础上对探测器进行了系统性的性能评价与分析,展示了实际成像效果。

主 题 词：制冷红外探测器 气体探测 挥发性有机物 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

馆 藏 号：203144485...