冷阴极潘宁离子源的磁路研究

作     者：欧阳礼仁 郑德修 

作者机构：西安交通大学电子物理与器件研究所陕西西安710049 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2003年第40卷第2期

页      码：23-26页

摘      要：研究了冷阴极潘宁离子源的磁路设计。在简要叙述冷阴极潘宁离子源的基本原理及其对磁场要求的基础上 ,考虑了在设计冷阴极潘宁离子源磁路时的关键问题和解决方法 ,并给出了实验结果和分析结论。

主 题 词：冷阴极 离子源 磁路 

学科分类：080705[080705] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-0322.2003.02.006

馆 藏 号：203145003...