双刀口组合测量微光斑中心位置

作     者：周明宝 

作者机构：中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：1997年第24卷第S1期

页      码：93-97页

摘      要：提出了一种测量光斑位置的新方法，介绍了按这种方法的原理设计的机电式四象限探测器。用这种探测器测量１００μｍ光斑的位置，分辨率可达到０．１μｍ，测量精度达到±０．５μｍ。

主 题 词：光斑 象限探测器 位置测量 测量精度 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

馆 藏 号：203145374...