数字式微型化低功耗电容测微仪的研究

作     者：刘宇 王宝光 刘健 孙春生 LIU Yu;WANG Bao-guang;LIU Jian;SUN Chun-sheng

作者机构：天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室天津300072 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2007年第20卷第7期

页      码：1502-1505页

摘      要：介绍一种新型电容测微仪.通过测头与测量电路的一体化设计,精缩了仪器体积;采用差动测头结构,减少了由于环境变化引起的测量误差;使用数字信号传输测量结果,增加了信号的传输距离,提高了抗干扰能力.给出了电容量和被测距离之间的非线性关系的直线拟合方法.研究结果表明:有效直径为3 mm的传感器测量范围为±80μm,分辨力达到0.01μm,时间稳定性达到0.01μm/h.

主 题 词：数字式 微型化 电容测微仪 直线拟合 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2007.07.012

馆 藏 号：203145484...