一种微加工超声传感器的设计

作     者：张慧 宋光德 栗大超 官志坚 靳世久 ZHANG Hui;SONG Guang-de;LI Da-chao;GUAN Zhi-jian;JIN Shi-jiu

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 

出 版 物：《天津大学学报》 (Journal of Tianjin University(Science and Technology))

年 卷 期：2008年第41卷第1期

页      码：17-20页

摘      要：电容式微加工超声传感器(cMUT)是近年来出现的新型器件,具有高灵敏度、频带宽和机电转换效率高等优点,大有取代传统的压电式超声传感器之势.介绍了cMUT的基本结构和工作原理,提出了一种新型传感器结构.针对此结构建立了两个有限元模型,通过对其中的一个三维模型进行模态分析得知,cMUT可工作在一阶频率处,其振动频率为4.582 MHz;利用另一个三维模型进行静态和谐波分析,得出传感器的塌陷电压为213 V,当对cMUT施加45 V直流偏置电压和1.6 V交流电压时,其谐振频率为4.147 MHz,薄膜的最大位移为0.447μm.

主 题 词：微加工超声传感器 塌陷电压 谐振频率 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.0493-2137.2008.01.004

馆 藏 号：203145500...