具有阈值可调功能的磁自锁MEMS惯性开关

作     者：王欣玥 李严军 屈明山 熊壮 WANG Xinyue;LI Yanjun;QU Mingshan;XIONG Zhuang

作者机构：中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 

出 版 物：《太赫兹科学与电子信息学报》 (Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology)

年 卷 期：2024年第22卷第10期

页      码：1161-1167页

摘      要：设计了一种阈值为5g的低g值磁自锁微机电系统(MEMS)惯性开关,具有阈值可调和自回复功能。该惯性开关的惯性敏感单元由1个方形质量块、1块固定在质量块下的方形棋盘状磁铁和4根支撑它的方形阿基米德螺旋梁组成。磁铁和4块位于移动电极下方的铁磁性固定电极、双层平面线圈一起共同实现磁自锁和阈值调节功能。通过有限元仿真软件ANSYS对其进行仿真分析,利用激光加工和PCB工艺制造样片机,并通过离心机对样品进行性能测试。测试结果显示,制作的MEMS惯性开关在垂直敏感方向上的阈值加速度为5.27g,通过施加−0.5~0.5 A范围的电流,阈值的调整范围为6g~3.75g。结果表明此结构能够在实现闭锁功能的同时,在无外力作用的情况下实现自回复,且在一定范围内阈值可调。

主 题 词：微惯性开关 低g值开关 阈值可调 电磁执行器 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 081001[081001] 

D　O　I：10.11805/TKYDA2023058

馆 藏 号：203145608...