高精度激光加工设备隔振系统的设计

作     者：貊泽强 余锦 聂树贞 刘洋 葛文琦 张雪 郭广妍 王治昊 王昊成 

作者机构：中国科学院光电研究院北京100094 中国科学院研究生院北京100190 

出 版 物：《科学技术与工程》 (Science Technology and Engineering)

年 卷 期：2013年第21卷第21期

页      码：6082-6087页

摘      要：随着激光加工精度要求的不断提高,加工设备系统的稳定性问题受到越来越多的重视。利用有限元方法对高精度激光加工设备的固有频率和谐响应进行了分析,并采用空气弹簧对整个系统进行减振处理。研究结果表明该激光加工设备具有较高的固有频率,当外部激励频率明显小于一阶固有频率时系统较稳定,并且不同振动频率下空气弹簧的减振效果均较高,满足设备的减振要求。

主 题 词：激光微加工 结构设计 振动分析 空气弹簧 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-1815.2013.21.007

馆 藏 号：203145748...