MEMS热风速计流固耦合模拟

作     者：张骅 沈广平 吴剑 秦明 黄庆安 ZHANG Hua;SHEN Guang-ping;WU Jian;QIN Ming;HUANG Qing-an

作者机构：东南大学MEMS教育部重点实验室南京210096 

基　　金：国家自然科学基金资助(60476019) 江苏省青蓝工程人才培养计划资助课题 

出 版 物：《电子器件》 (Chinese Journal of Electron Devices)

年 卷 期：2007年第30卷第6期

页      码：2247-2249页

摘      要：通过设置流-固耦合面和固-固耦合面,采用ANSYS软件对MEMS热风速计进行了有限元模拟,基本解决了热风速计有限元模拟中遇到的多物理场耦合问题.通过对不同风速,不同风向情况下的风速计芯片的热分布进行了模拟和分析,得到了一些有助于芯片设计的结论.最后,为了验证模型的正确性,进行了实验测量.实验数据与模拟结果基本相符,误差在8%以内.

主 题 词：流固耦合 MEMS 热风速计 模拟 测量 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-9490.2007.06.070

馆 藏 号：203146866...