变截面梁的微电镀研究

作     者：刘益芳 吕文龙 孙道恒 Liu Yifang;Lü Wenlong;Sun Daoheng

作者机构：厦门大学厦门361005 厦门大学厦门361005 厦门大学厦门361005 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50275127) 福建省自然科学基金资助项目(A0110003) 福建省科技计划资助项目(2002H022) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第Z1期

页      码：404-406页

摘      要：介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台,设计了悬臂梁的微电镀工艺流程.为了提高镍微电镀镀层的均匀性和降低镀层的内应力,以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题,研究了不同电镀参数下的悬臂梁的电镀效果.实验结果表明,脉冲电源电镀优于直流电源电镀,且在阴极前放置细铁丝网、适当降低电流密度、增大占空比、延长电镀时间可以提高镀层厚度的一致性和镀层表面的均匀性.

主 题 词：悬臂梁 变截面 微电镀 一致性 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.144

馆 藏 号：203146867...