单侧支撑静电硅微谐振器的试验研究

作     者：赵江铭 沈雪谨 张永宇 陈晓阳 Zhao Jiangming;Shen Xuejin;Zhang Yongyu;Chen Xiaoyang

作者机构：上海大学上海200072 上海大学上海200072 上海大学上海200072 上海大学上海200072 

基　　金：国家自然科学基金资助重点项目(50135054) 国家重点基础研究发展规划资助项目(G1999033109) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第Z1期

页      码：193-195页

摘      要：对设计梁长120μm、梁宽2μm的单侧折叠梁微谐振器进行试验研究,测定了常温常压下的谐振频率、品质因子以及不同电压下的谐振振幅,并与相同条件下、相同梁长的双侧支撑微谐振器的试验结果进行了对比.研究表明:谐振振幅是直流偏置电压的线性函数,是交流驱动电压的二次幂函数;相同条件下,单侧支撑微谐振器的振幅输出大于双侧支撑微谐振器的振幅输出.

主 题 词：MEMS 静电硅微谐振器 单侧支撑结构 双侧支撑结构 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.066

馆 藏 号：203146867...