串连差分白光干涉法测量金属极薄带厚度

作     者：杜艳丽 严惠民 DU Yan-li;YAN Hui-min

作者机构：郑州大学物理工程学院电子科学技术系郑州450052 浙江大学光电系国家光学仪器工程技术研究中心杭州310027 

基　　金：国家高科技863计划资助项目 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：2008年第35卷第9期

页      码：55-59页

摘      要：利用白光作为光源的干涉仪(WLI)克服了单色相干光干涉相位不确定,不能够进行绝对测量的缺点,本文设计了一种串连差分白光干涉(DMLI)测量极薄金属带材厚度的新系统。该系统的特点是由两个迈克尔逊干涉仪(MI)串联组成差分干涉系统,两个干涉仪的测量反射面由薄带的两个对应表面承担,干涉系统的最后输出信号只与薄带的厚度有关,而与薄带在测量光路中的位置无关。理论分析及实验结果表明,该系统既有干涉测量的高精度、高灵敏度,又具有较强的抗干扰能力。

主 题 词：差分白光干涉 金属极薄带 串连 厚度 干涉谱 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-501X.2008.09.012

馆 藏 号：203147054...