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压电式微驱动器的应用研究

压电式微驱动器的应用研究

作     者:杨旭霞 陈道炯 单世宝 高春雨 韦光辉 YANG Xu-xia;CHEN Dao-jiong;SHAN Shi-bao;GAO Chun-yu;WEI Guang-hui

作者机构:上海理工大学机械工程学院上海200093 

出 版 物:《上海理工大学学报》 (Journal of University of Shanghai For Science and Technology)

年 卷 期:2005年第27卷第5期

页      码:433-437页

摘      要:在分析常用微驱动器的基础上,设计了一种压电式微驱动器,采用柔性铰链机构实现无机械摩擦、无间隙的高灵敏度微驱动,利用柔性铰链杠杆放大原理增加了叠层式压电陶瓷位移输出,满足了在激光测量系统中作为移相器的工作要求.文章对柔性铰链机构进行了理论分析,建立了数学模型,采用有限元分析方法优化了机构的结构参数.

主 题 词:微驱动器 微位移 机构 

学科分类:0810[工学-土木类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录:

D O I:10.3969/j.issn.1007-6735.2005.05.015

馆 藏 号:203147124...

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