SiC高温高量程MEMS加速度传感器的仿真与分析

作     者：陈艳香 石云波 智丹 杨志才 冯恒振 CHEN Yanxiang;SHI Yunbo;ZHI Dan;YANG Zhicai;FENG Hengzhen

作者机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 

基　　金：国家"十二五"装备预研项目 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2015年第28卷第10期

页      码：1471-1475页

摘      要：加速度传感器材料的特性对传感器的性能影响很大,Si C作为新一代半导体材料具有优良的力学温度特性,适用于高温、高过载加速度传感器。基于Si C提出了一种可用于高温、高过载环境的加速度传感器设计方案。根据悬臂梁的相关力学理论知识,对传感器结构、尺寸进行了设计,并利用ANSYS有限元仿真软件对Si C材料传感器敏感结构进行模态分析、静力学分析、热分析。仿真结果表明,6H-Si C材料表现出了比Si材料更优异的抗高温、抗过载特性,为应用于高量程、高温环境下的加速度传感器研究提供了可靠的理论基础。

主 题 词：高量程加速度计 SiC 高温 抗过载 Ansys 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2015.10.009

馆 藏 号：203147789...