双自由度双解耦陀螺的结构设计与仿真

作     者：陈伟平 王浩 刘骁 韩天 陈宏 CHEN Wei-ping;WANG Hao;LIU Xiao;HAN Tian;CHEN Hong

作者机构：哈尔滨工业大学MEMS中心哈尔滨150001 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第2期

页      码：261-264页

摘      要：设计了一种新颖的陀螺结构,该结构采用双自由度设计增大检测带宽,并缓解了品质因数对陀螺灵敏度的影响;采用了双级解耦的结构设计,减小了驱动模态的同频耦合干扰。文中对结构进行了电学模型建模,并进行了相应的时域和频域分析。

主 题 词：MEMS 微机械陀螺 双自由度检测 双级解耦 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.019

馆 藏 号：203147897...