新型提拉杆防抖系统的研究

作     者：黄晋强 权纪亮 HUANG Jin-qiang;QUAN Ji-liang

作者机构：广州半导体材料研究所广东广州510610 

出 版 物：《南方金属》 (Southern Metals)

年 卷 期：2015年第4期

页      码：1-3,33页

摘      要：为了提高直拉单晶炉的稳定性,设计了一款新型提拉杆防抖系统,采用磁流体装置+波纹管密封系统替代传统单晶炉橡胶唇形密封系统,有效地解决了提拉杆抖动问题,在实际生产应用中取得了满意的效果.

主 题 词：提拉杆 磁流体 波纹管 防抖系统 

学科分类：080603[080603] 08[工学] 0806[工学-电气类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1009-9700.2015.04.001

馆 藏 号：203147924...