CrTiAlCN多元多层梯度膜的制备及其结构

作     者：林松盛 代明江 朱霞高 李洪武 侯惠君 林凯生 况敏 戴达煌 LIN Song-sheng;DAI Ming-jiang;ZHU Xia-gao;LI Hong-wu;HOU Hui-jun;LIN Kai-sheng;KUANG Min;DAI Da-huang

作者机构：广州有色金属研究院材料表面工程研究所广州510651 

基　　金：广东省技术创新基金资助项目(200503027) 

出 版 物：《中国有色金属学报》 (The Chinese Journal of Nonferrous Metals)

年 卷 期：2009年第19卷第2期

页      码：259-264页

摘      要：采用中频反应磁控溅射、离子束辅助方法沉积CrTiAlCN多元硬质薄膜,利用扫描电镜、俄歇电子谱、透射电镜及X射线衍射等技术对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明:沉积制备的膜层为多层梯度过渡结构,成分深度分布及相结构分析证实,所制备的多元多层梯度膜与所设计的基体/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN结构相吻合;在梯度过渡中,不同层之间界面体现为渐变过渡过程;沉积制备的多元多层梯度膜硬度高达26.31GPa,膜/基结合力大于80N,摩擦因数低至0.113,力学性能优良。

主 题 词：CrTiAlCN薄膜 磁控溅射 离子束辅助 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-0609.2009.02.010

馆 藏 号：203148137...