一种硅压力传感器的高精度宽温度补偿设计

作     者：胡永建 

作者机构：西部钻探工程公司吐哈钻井工艺研究院 

出 版 物：《传感器世界》 (Sensor World)

年 卷 期：2010年第16卷第4期

页      码：17-19,25页

摘      要：本文提出了一种硅压力传感器的温度补偿方法,同时给出了如何进行温度补偿以及非线性修正的具体算法,实现了硅压力传感器宽温度范围下的高精度测量。

主 题 词：硅压力传感器 温度补偿 三次样条插值 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.16204/j.cnki.sw.2010.04.006

馆 藏 号：203148663...