提取共面微波探针S参数的方法

作     者：吴爱华 楼红英 刘晨 孙静 梁法国 WU Ai-hua;LOU Hong-ying;LIU Chen;SUN Jing;LIANG Fa-guo

作者机构：中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 南京电子技术研究所南京210039 

出 版 物：《微波学报》 (Journal of Microwaves)

年 卷 期：2016年第32卷第2期

页      码：35-38页

摘      要：共面微波探针是裸芯片测量信号输入/输出的重要媒介,通过与晶圆片物理接触,建立起测量系统与芯片之间的信号连接通道。为了获得共面微波探针完整准确的S参数,设计并实现了＂两步法＂测量方案,首先在同轴端口进行校准,然后在探针尖端口进行第二步校准。通过与出厂数据进行对比分析,证明了方案的可行性,同时指出在片校准件预校准的重要性。另外,讨论了氧化铝和砷化镓两种材料在片SOLT校准件对于探针S参数提取中的影响,实验显示二者相角偏差达到39.8°,回波损耗呈现规则性的变化,全部测量数据的频段覆盖1-40 GHz,最终给出了优化的测量方案。

主 题 词：共面波导 微波探针 裸芯片 S参数 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.14183/j.cnki.1005-6122.201602008

馆 藏 号：203148939...